利用干涉原理只使特定光譜范圍的光通過(guò)的光學(xué)薄膜。通常由多層薄膜構成。干涉濾光片種類(lèi)繁多，用途不一，常見(jiàn)干涉濾光片分截止濾光片和帶通濾光片兩類(lèi)。截止濾光片能把光譜范圍分成兩個(gè)區，一個(gè)區中的光不能通過(guò)(截止區)，而另一區中的光能充分通過(guò)(通帶區)。典型的截止濾光片有低通濾光片(只允許長(cháng)波光通過(guò))和高通濾光片(只允許短波光通過(guò))，它們均為多層介質(zhì)膜，具有由高折射率層和低折射率層交替構成的周期性結構。例如，最簡(jiǎn)單的高通濾光片的結構為g(L/2)(HL)mH(L/2)a，其中g(shù)代表玻璃(光學(xué)元件材料)，a代表膜外空氣，L和H分別代表厚度為1/4波長(cháng)的低折射率層和高折射率層，L/2則代表厚度為1/8波長(cháng)的低折射率層，m 為周期數。類(lèi)似地，低通濾光片的結為g(H/2)L(HL)(H/2)a。一種具有對稱(chēng)型周期膜系的高通和低通濾光片的結構分別為 g(0.5LH0.5L)ma和g(0.5HL0.5H))ma 。

　　帶通濾光片只允許較窄波長(cháng)范圍的光通過(guò)，常見(jiàn)的是法布里-珀羅型濾光片，它實(shí)質(zhì)上是一個(gè)法布里-珀羅標準具(見(jiàn)法布里-珀羅干涉儀)。具體結構為：玻璃襯底上涂一層半透明金屬層，接著(zhù)涂一層氟化鎂隔層，再涂一層半透明金屬層，兩金屬層構成了法布里-珀羅標準具的兩塊平行板。當兩極的間隔與波長(cháng)同數量級時(shí)，透射光中不同波長(cháng)的干涉高峰分得很開(kāi)，利用別的吸收型濾光片可把不允許透過(guò)的光濾掉，從而得到窄通帶的帶通濾光片，其通頻帶寬度遠比普通吸收型濾光片要窄。另外還有全電介質(zhì)的法布里-珀羅型濾光片，兩種典型結構為 gHLHLLHLH a，g HLHL HH LHLH a1。根據需要，帶通濾光片的通頻帶可從紅外到紫外。在可見(jiàn)光區，彩色電視攝像機中可利用這種濾光片把像分離成不同顏色;在紅外區，常用于二氧化碳激光器、導彈制導系統及衛星傳感器等。